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离子注入中的沟道效应使注入离子在深度上的控制变得很困难,并使SHEET值的均一性恶化.本文借助计算机模型,对注入剂量、注入能量、硅片基板方位、硅片表面薄膜氧化层厚度变化时,研究分析了注入沟道效应的相应变化.
离子注入中的沟道效应控制
【摘 要】
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离子注入中的沟道效应使注入离子在深度上的控制变得很困难,并使SHEET值的均一性恶化.本文借助计算机模型,对注入剂量、注入能量、硅片基板方位、硅片表面薄膜氧化层厚度变化
【机 构】
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华越微电子有限公司
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2002年3期
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