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IMS-3f SIMS线扫描功能的应用
IMS-3f SIMS线扫描功能的应用
来源 :质谱学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:andychinajj
【摘 要】
:
IMS-3f的线扫描功能,常用于样品表面较大范围内元素分布的检测。若将样品处理,例如切开、磨角,就可以用元素在表面分布的检测代替在体内分布的检测,因此可以解决元素深度分布
【作 者】
:
曹永明
卢世峰
朱烨
宗祥福
【机 构】
:
上海复旦大学,上海复旦大学
【出 处】
:
质谱学报
【发表日期】
:
1989年1期
【关键词】
:
IMS-3f
SIMS
线扫描
深度分布
表面分布
元素分布
金属断裂
杂质分布
横向分布
半导体工艺
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IMS-3f的线扫描功能,常用于样品表面较大范围内元素分布的检测。若将样品处理,例如切开、磨角,就可以用元素在表面分布的检测代替在体内分布的检测,因此可以解决元素深度分布剖析中的一些问题。
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