【摘 要】
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本文提出了应用于半导体封装设备固晶机焊头的音圈电机建模与设计方法。音圈电机输出力与电场、磁场和机械结构成非线性关系。通常情况下，基于几何结构和所使用材料的导出磁密
【机 构】
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广东工业大学广东省集成制造重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(U1134004,50905033);973项目(2011CB013100-G);广东省引进创新团队(201001G0104781202);教育部博士点基金(20094420120001);国家支撑计划(2012BAF12B10)资助
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本文提出了应用于半导体封装设备固晶机焊头的音圈电机建模与设计方法。音圈电机输出力与电场、磁场和机械结构成非线性关系。通常情况下，基于几何结构和所使用材料的导出磁密分布的建模技术是相当复杂的，特别是当磁轭材料存在孔洞时。所以本文基于机械结构和使用材料，提出通过使用电磁仿真软件COMSOLMuhiphysics而发展的一种特殊的设计音圈电机的建模过程。一种迭代优化设计过程旨在使音圈电机在一定的容积下最大化其输出推力。仿真结果分析表明所提出音圈电机的设计方法是有效的，能为音圈电机的研制与测试提供良好的理论基础。
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