【摘 要】
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为了进一步精确控制激光发射方向，减少反射镜热畸变以提高光束质量，设计了一种新型二维快速控制水冷反射镜装置。根据高功率激光反射镜的设计和制作原则，对反射镜的材料性能进行
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
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为了进一步精确控制激光发射方向，减少反射镜热畸变以提高光束质量，设计了一种新型二维快速控制水冷反射镜装置。根据高功率激光反射镜的设计和制作原则，对反射镜的材料性能进行了分析，采用主动水冷铜镜来减小镜面热畸变使镜面变形控制在0．1μm以内。然后，分别从机械结构、驱动器和控制系统、角度检测元件3方面设计了反射镜装置，其x-y轴框架式的机械结构形式，可减小反射镜的冷却水管对轴系回转精度的影响，使回转精度〈2″。实验测试结果表明，二维快速控制水冷反射镜装置工作稳定、可靠，控制光束稳定的精度〈1″，可满足对激光传输
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