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本文综述了金刚石热沉的发展过程,指出了开发金刚石薄膜热沉的意义,介绍了用直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石薄膜的热性质以及金刚石薄膜热沉表面的抛光和金属化方法。
金刚石薄膜热沉的开发
【摘 要】
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本文综述了金刚石热沉的发展过程,指出了开发金刚石薄膜热沉的意义,介绍了用直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石薄膜的热性质以及金刚石薄膜热沉表面的抛光和金属化方法。
【机 构】
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北京理工大学材料中心,北京理工大学材料中心100081,100081,100081
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年2期
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