【摘 要】
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利用电化学阳极腐蚀的方法制备了多孔硅膜，实验发现多孔硅膜为多层结构，表面层为纳米结构，其余为微米结构，多孔硅的物理及化学结构的研究表明多孔硅是一种表面上含硅、氧、氢、氟
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利用电化学阳极腐蚀的方法制备了多孔硅膜，实验发现多孔硅膜为多层结构，表面层为纳米结构，其余为微米结构，多孔硅的物理及化学结构的研究表明多孔硅是一种表面上含硅、氧、氢、氟元素组成的化合物包覆着的纳米晶硅粒和微米硅丝．多孔硅的发光主要来自表面纳米结构层，亚微米结构层并未见发光，从实验上证实了多孔硅的发光与量子尺寸效应紧密关联．
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