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对炉用SiC电热元件在空气介质中于1000℃-1580℃范围的高温失效行为进行了试验分析。元件表面在高温下形成熔融态SiO2薄层。由于在氧化反应中生成气体而产生气泡,气泡破裂后材料表面失去保护层,导致了高温氧化的加剧。文中对SiC电热元件在不同温度下的脱落物进行了分析,对SiC电热元件高温失效的原因进行了综合讨论。