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采用紫铜电极进行半导体硅电火花成形加工时，加工表面经常会生成黑点物质，导致加工无法进行。分析表明，该黑点物质为不具有导电性的铜氧化物。为避免该物质的产生，首先通过选用石墨电极改变电极材料，并选用不含有氧元素的工作介质，杜绝非导电金属氧化物形成的条件；其次，通过增加电极的附加振动或旋转，使极间的洗涤、冷却能力增强，改善了极间的排屑条件，从而使半导体硅电火花成形加工得以稳定顺利地进行。