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计划中用以执行地球和行星观测任务的热红外成像仪器越来越多.并入这些仪器的非致冷微测辐射热计技术给这些仪器带来了尺寸、重量和功耗方面的优势,这些优势有利于执行小卫星任务,对于微型卫星和纳米卫星来说则更是必不可少的条件.加拿大海洋研究所和标准协会已研究成功一种独特而通用的加拿大微测辐射热计工艺技术.最近,他们用这种技术研制成一个非致冷焦平面列阵以满足基于卫星的热红外成像的特殊要求.列阵由三行并行的像元构成,每行有512个像元,像元的间距为39um。为了实现在片像元偏差校准并提高对电路小片温度变化的不敏感性,每