【摘 要】
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为了进一步推动我们国家在工业生产过程中对于电子级多晶硅的纯度,本文采用文献综述、实证研究等方法对其多晶硅过程中存在的工艺问题以及现状进行研究分析;其研究结果表明在
【机 构】
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新特能源股份有限公司 新疆乌鲁木齐 830026
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为了进一步推动我们国家在工业生产过程中对于电子级多晶硅的纯度,本文采用文献综述、实证研究等方法对其多晶硅过程中存在的工艺问题以及现状进行研究分析;其研究结果表明在电子级多晶硅过程中主要的影响因素来源于杂质的去除程度,因此在对吸附与膜分离技术进行实证分析的基础上,根据电子级多晶硅的工艺流程以及实际应用等情况对该技术进行对应的优化,并对其方法的研究进展、存在问题等进行探讨;最终希望本研究能够为我国电子级多晶硅的制备提供重要的参考意见及实证依据.
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