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本文介绍一个二元分层动态靶溅射的Monte Carlo模拟程序,包括工作原理、物理模型、程序设计和适用范围等。本程序采用二体碰撞近似描述原子间的散射过程,所用作用势为Molière近似的Thomas—Fermi势,并且根据需要可调节每薄层厚度及靶成分。 该程序可计算几百eV～MeV离子轰击二元无定型靶的溅射产额,从而研究固体靶的择优溅射、溅射能谱、角分布及深度来源分布等。文中给出一些计算结果。