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Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dulizhi123
【摘 要】
:
随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺
【作 者】
:
徐晔
蔡珣
陈秋龙
沈耀
李刘合
【机 构】
:
上海交通大学先进热处理与表面改性工程技术研究中心,北京航空航天大学机械设计与自动化学院材料加工与控制系
【出 处】
:
新技术新工艺
【发表日期】
:
2006年8期
【关键词】
:
Ti-Si-N膜
纳米复合膜
微观结构
纳米硬度
工艺参数
Ti-Si-N film
nanocomposite coating
microstructur
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随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
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