Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展

来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dulizhi123
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随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
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