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【摘 要】
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为保证显微CT系统测量精度,采用标准器与样品共同测量的方式设计了可用于共同测量的组合标准器,提出显微CT系统测量过程中修正比例误差与阈值误差的方法。在不改变显微CT系统扫描参数的情况下,对航空航天常用的轻质材料聚四氟乙烯样品进行独立测量,并与基于组合标准器的测量进行对比实验。结果表明,基于组合标准器的显微CT系统测量方法较样品独立测量方法有效减小测量误差1μm～4μm,鲁棒性好。
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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2020年04期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61771328)
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