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这里针对微机械电子系统中存在的多物理场耦合现象，提出一种微结构的多物理场耦合求解方法。该方法首先将微机械电子系统分解为机械场（实体微结构模型）和多个单物理场的组合；然后，对各物理场与实体微结构模型的控制方程采用有限元／边界元离散为线性方程组，最后利用迭代法求解。为证明方法的可行性，这里对微加速度传感器中的微悬臂梁结构进行多物理场解耦分析。解耦分析的结果表明，该方法是合理可行的。