溶胶—凝胶法制备的纳米In2O3气敏性能研究

• 作 者: 程知萱 潘庆谊 王廷富 董晓雯 李琰
• 机 构: 上海大学
• 出 处: 郑州轻工业学院学报
• 发表日期: 2002年4期
• 关键词: 气敏性能 氧化铟 纳米粉末 溶胶-凝胶法 气敏元件 三甲胺 In2O3 nano-sized powder Sol-gel method gas-sensiti

以氯化铟为前驱体,通过溶胶-凝胶法制备了纳米In2O3颗粒.经TG-DSC热分析表明:In(OH)3在272.9 ℃附近脱水形成In2O3.经XRD,TEM等手段表征的结果显示:所合成的纳米In2O3属立方晶型,晶粒尺寸约20 nm.气敏性能测试结果表明:纳米In2O3气敏元件对TMA及NH3灵敏度高.通过与某公司提供的粒度为3.077 μm的In2O3制成的气敏元件比较得知,纳米In2O3气敏元件对TMA的灵敏度提高特别明显.