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全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组第三届五次联合会议，于2009年6月22—26日在贵阳市顺利召开。
全国半导体设备和材料标委会气体分会全国标准样品技术委员会气体标样工作组第三届五次联会召开
【摘 要】
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全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组第三届五次联合会议，于2009年6月22—26日在贵阳市顺利召开。
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2009年4期
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