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采用溶胶-凝胶法,由硝酸取代有机络合剂来抑制钛酸四丁酯的水解,在石英基板衬底上采用多次旋涂成功制备了锐钛矿相柱状晶TiO2薄膜,并研究了退火温度对结晶性能的影响.当退火温度在400～550℃可以制备出锐钛矿相柱状晶型的TiO2薄膜,其薄膜单层厚度可以达到20nm.利用扫描电子显微镜和X射线衍射分析表征薄膜的微观形貌和结构.通过谢乐公式计算了晶粒尺寸.样品的光催化活性则通过降解罗丹明B来测定,得出当样品的柱状晶形貌较好时,相应的薄膜光催化性能也比较优越.