【摘 要】
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工作电压低于５ｋＶ的扫描电镜分析技术称为低能扫描电子显微术，它是场发射扫描电镜仪器及其应用技术的发展方向之一。文中综述了这种分析技术的近年发展概况，阐明了它的物理基础和有
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工作电压低于５ｋＶ的扫描电镜分析技术称为低能扫描电子显微术，它是场发射扫描电镜仪器及其应用技术的发展方向之一。文中综述了这种分析技术的近年发展概况，阐明了它的物理基础和有关仪器技术的进展，并概述了它在各种应用中所推荐的工作电压及其开拓新应用领域的前景。
Scanning electron microscopy with a working voltage below 5 kV is called low energy scanning electron microscopy and is one of the development directions for field emission scanning electron microscopy instruments and their applications. In this paper, an overview of recent developments of this analytical technique is summarized, its physical basis and advances in instrumentation technology are summarized, and its recommended operating voltages and prospects in various new applications are outlined.
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