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<正> 本文系统地探讨了扫描电镜的理论分辨率,实际显微观察的分辨率,以及对商品扫描电镜的分辨率测量和验收等问题。一、扫描电镜的理论分辨率扫描电镜的成象特点是利用入射电子与物质相互作用所产生的信息来成象,故扫描电镜的理论分辨率主要由电子束斑的直径来决定,电子束斑的直径愈小,相应扫描电镜可能达到的分辨率也愈高。但电子束斑的直径受着如下两个因素的影响:1.扫描电镜的物镜存在着象差;