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【摘 要】
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用磁控溅射方法在Si衬底上制备了Al掺杂Mg2Si薄膜，通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和分光光度计研究了掺杂含量对Mg2Si薄膜组分、表面形貌、粗糙度及光学带
【机 构】
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贵州大学大数据与信息工程学院新型光电子材料与技术研究所,贵州师范大学物理与电子科学学院
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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2017年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金,61264004贵州省自然科学基金,[201412052,[2013]2209贵州省国际科技合作项目,[2013]7003贵州大学研究生刨新基金,2016068
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