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受传统光学理论衍射极限的限制，利用普通光刻技术难以进行纳米尺度三维加工。理化所段宣明研究员研究组，自主研制成功“纳米光子学超精细加工系统”。他们与国内外大学、研究机构合作，利用近红外波长的飞秒激光直写技术，通过对加工方法的深入研究，实现了纳米尺度的加工分辨率．受到国内外的广泛关注。
纳米复合材料三维微纳结构加工研究取得重要进展
【摘 要】
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受传统光学理论衍射极限的限制，利用普通光刻技术难以进行纳米尺度三维加工。理化所段宣明研究员研究组，自主研制成功“纳米光子学超精细加工系统”。他们与国内外大学、研究机
【出 处】
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中国科学院院刊
【发表日期】
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2008年2期
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