论文部分内容阅读
采用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土Dy掺杂Sn薄膜，对薄膜进行合适的氧化、热处理后获得Dy掺杂SnO2薄膜。用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、静态配气法对薄膜性能进行测试，研究不同掺Dy含量和热处理条件对SnO2薄膜的影响。结果显示，制备的SnO2薄膜呈金红石结构为n型；在相同热处理条件下，Dy掺杂可明显缩短薄膜氧化、热处理的时间；适当掺入稀土Dy可明显改善SnO2薄膜的结构、气敏特性。掺Dy3at％后可大大提高SnO2薄膜对丙酮气体的灵敏度。