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【摘 要】
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采用新颖的NO和O2＋CHCCl3（TCE）氧化技术制备金属-绝缘体-SiC（MISiC）肖特基势垒二极管（sBD）气体传感器的栅绝缘层，研究了传感器的响应特性。结果表明，传感器可快速的检测低浓度的氢气，NO
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2006年2期
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