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随着器件尺寸进入到微／纳米尺度，其热物性与体材料相比有了很大差别。在器件热性能和可靠性研究过程中，对热导率的测量成为了关键技术之一。本文概述了SiO2、SiNx、金刚石等薄膜在微小型器件中的用途及其热导率测试技术的发展，并进一步总结了用于薄膜热导率测量的常用方法。
微尺度薄膜热导率测试技术
【摘 要】
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随着器件尺寸进入到微／纳米尺度，其热物性与体材料相比有了很大差别。在器件热性能和可靠性研究过程中，对热导率的测量成为了关键技术之一。本文概述了SiO2、SiNx、金刚石等薄膜
【机 构】
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中国科学院电子学研究所
【出 处】
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物理学进展
【发表日期】
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2002年3期
【基金项目】
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国家 973项目 (G1 9990 331 0 2 )
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