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本文介绍了沿夹于两种材料之间的ZnO膜传播的界面声波(BAW)的理论和实验结果。从理论上获得了其传播速度、机电耦合系数(K~2)和其位移与ZnO膜标称厚度之间的色散曲线。也计算出了其延时温度系数(TCD),它在一特定膜厚时变为零。当三种材料的材秆参数都能满足本研究所获得的特定条件时,则只存在界面声波。这种波存在的范围比作者另外介绍的斯通利波存在的范围大些。为了验证存在界面波的理论预言,对SiO_2/ZnO/SiO_2结构进行了实验研究。通过溅射技术在熔融石英基片上制备了一层ZnO膜和一层较厚的SiO_2层