【摘 要】
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近十年来,二次离子质谱、俄歇电子能谱、X射线光电子能谱以及离子溅射结合电子能谱的深度剖析等四种主要表面分析技术在我国获得迅速发展。据统计,我国已拥有上述表面分析谱
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近十年来,二次离子质谱、俄歇电子能谱、X射线光电子能谱以及离子溅射结合电子能谱的深度剖析等四种主要表面分析技术在我国获得迅速发展。据统计,我国已拥有上述表面分析谱仪近一百台。表面分析技术的应用遍及半导体、催化、冶金、腐蚀、钝化、吸附、涂膜、粘合、磨损、电接触、玻璃搪瓷、金属断裂、织物处理、塑料建材以
In the past ten years, the four major surface analysis technologies, such as secondary ion mass spectrometry, Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and ion-sputtering combined with electron spectroscopy, have been rapidly developed in China. According to statistics, China already has nearly 100 surface analysis spectrometers. The application of surface analysis technology in semiconductor, catalysis, metallurgy, corrosion, passivation, adsorption, coating, bonding, wear, electrical contact, glass enamel, metal rupture, fabric treatment, plastic building materials
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