Precision laser trimming of polysilicon resistors without heat affected zone

来源 :Chinese Journal of Lasers | 被引量 : 0次 | 上传用户：nhb

【摘要】

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ＰｒｅｃｉｓｉｏｎｌａｓｅｒｔｒｉｍｍｉｎｇｏｆｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎｒｅｓｉｓｔｏｒｓｗｉｔｈｏｕｔｈｅａｔａｆｆｅｃｔｅｄｚｏｎｅＨＵＡＮＧＷｅｉｌｉｎｇ（ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＬａｓｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈｕａｚｈｏｎｇｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ... PrecisionlasertrimmingofpolysiliconresistorswithoutffectedzoneHUANGWeiling (InstituteofLaserTechnology, Huazhonguniversity ..

【出处】

：

Chinese Journal of Lasers

【发表日期】

：

1994年02期

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