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近日，Trikcm公司宣布，其全新的Omegai2L。干法蚀刻系统在主流硅和功率管理应用中将带来新的市场机遇，其经验证的技术可以帮助降低风险、提高利润的能力.
Trikon发布全新Omegai2L干法蚀刻系统
【摘 要】
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近日，Trikcm公司宣布，其全新的Omegai2L。干法蚀刻系统在主流硅和功率管理应用中将带来新的市场机遇，其经验证的技术可以帮助降低风险、提高利润的能力.
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2005年4期
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