对一种高精度和高速度图形发生器的分析

• 作 者: 黄印权
• 机 构: 骊山微电子公司
• 出 处: 微电子学与计算机
• 发表日期: 1984年06期
• 关键词: 图形发生器 精度 成象系统 工作台 空气轴承 调焦系统 测长 气压 公差值 传感装置

本文从设计的角度对MM250型图形发生器进行了分析,着重剖析其提高精度的措施.主要论述:双频激光测长系统;工作台系统;成象系统;气压传感调焦系统等部分.

In this paper, the MM250 pattern generator is analyzed from the design point of view, focusing on the analysis of its measures to improve accuracy.Main discussion: dual-frequency laser measuring system; workbench system; imaging system; pressure sensing focusing system and so on.