H2S Sensing Characteristics of Thin Film SnO2 Sensor with N2 Treatment

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dk_wow

【摘要】

：

<正>SnO_2 thin film sensors were fabricated by a thermal evaporation method.The sensors were heated for thermal oxidation.For high porosity,SnO_2 thin film sens

【作者】

：

Jong-Won Kim Kwang-Hyun Yun Ge

【机构】

：

DepartmentofNano-ScienceandTechnology,DepartmentofMaterialsScienceandMetallurgy,SchoolofElectronicEn

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年A03期

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<正>SnO_2 thin film sensors were fabricated by a thermal evaporation method.The sensors were heated for thermal oxidation.For high porosity,SnO_2 thin film sensors were treated in a N_2 atmosphere.The sensors that were treated with O_2 after being tr

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