【摘 要】
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ＨＢｒ电子回旋共振等离子腐蚀多晶硅过程中的侧壁钝化＝Ｓｉｄｅｗａｌｌｐａｓｓｉｖａｔｉｏｎｄｕｒｉｎｇｔｈｅｅｔｃｈｉｎｇｏｆｐｏｌｙ－Ｓｉｉｎａｎｅｌｅｃｔｒｏｎｃｙｃｌｏｔｒｏｎｒｅｓｏ－ｎａｕｃｅｐｌａｓｍａｏｆＨＢｒ［刊，英］／Ｈａｖｅｒｌａ...
Sidewallpassivationduringtheetchingofpoly-Siinanelectroncyclotronreso-nauceplasmaofHBr [/] / Haverla HBr el
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ＨＢｒ电子回旋共振等离子腐蚀多晶硅过程中的侧壁钝化＝Ｓｉｄｅｗａｌｌｐａｓｓｉｖａｔｉｏｎｄｕｒｉｎｇｔｈｅｅｔｃｈｉｎｇｏｆｐｏｌｙ－Ｓｉｉｎａｎｅｌｅｃｔｒｏｎｃｙｃｌｏｔｒｏｎｒｅｓｏ－ｎａｕｃｅｐｌａｓｍａｏｆＨＢｒ［刊，英］／Ｈａｖｅｒｌａ...
Sidewallpassivationduringtheetchingofpoly-Siinanelectroncyclotronreso-nauceplasmaofHBr [/] / Haverla HBr electronic cyclotron resonance plasma etching process of polysilicon sidewall passivation.
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