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本文介绍了微环境的研究概况。对微环境新Ｆａｂ的投资及成本－效益进行了分析。例举了新Ｆａｂ的结构设计方案，在全球新Ｆａｂ投资方面，重点介绍了欧洲及日本对新Ｆａｂ投资发展的动向。
21世纪初的IC形势——未来Fab及其投资,效益分析
【摘 要】
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本文介绍了微环境的研究概况。对微环境新Ｆａｂ的投资及成本－效益进行了分析。例举了新Ｆａｂ的结构设计方案，在全球新Ｆａｂ投资方面，重点介绍了欧洲及日本对新Ｆａｂ投资发展的动向。
【机 构】
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中国华晶电子集团公司技术支援中心,214061
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1996年4期
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