【摘 要】
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用国产DX-3A型扫描电子显微镜分析红外探测器材料,可成功地检测线度10μm以下的碲镉汞中的富磅夹杂相和碲锡铅中的金属夹杂相.精密测量了Hg_(1-x)Cd_xTe和Pb_(1-x)Sn_xTe的微
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所
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用国产DX-3A型扫描电子显微镜分析红外探测器材料,可成功地检测线度10μm以下的碲镉汞中的富磅夹杂相和碲锡铅中的金属夹杂相.精密测量了Hg_(1-x)Cd_xTe和Pb_(1-x)Sn_xTe的微区组成,可分辨出△x/x>2%的横向组成不均匀性.也可相当精确地测量PbSnTe-PbTe异质外延层的厚度.
The home-made DX-3A scanning electron microscope (SEM) is used to analyze the infrared detector materials, which can successfully detect the inclusions of rich plutonium and tellurium-tin in the Hg_ (1- x) Cd_xTe and Pb_ (1-x) Sn_xTe, the lateral compositional inht of Δx / x> 2% can be distinguished, and the thickness of the PbSnTe-PbTe heteroepitaxial layer can also be measured very accurately.
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