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来源 :电子测量与仪器学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
NY-1型电化学C-V自动测试仪是用于半导体外延层载流子浓度纵向分布的测量。由电解液/半导体结电容的测量获得载流子浓度。由结电容及腐蚀时流过结的电量可获得对应的深度。交
【作 者】
:
周凤林
龚建荣
王永生
【机 构】
:
南京邮电学院,南京邮电学院,南京邮电学院,
【出 处】
:
电子测量与仪器学报
【发表日期】
:
1992年02期
【关键词】
:
自动测试仪
C-V
NY-1
载流子浓度
电容电流
结电容
恒电位仪
半导体外延层
测试过程
砷化镓
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