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A Generalized Analytical Model of a Multispecies Plasma Immersion Ion Implantation Process in a Coll
【机 构】
:
ElectronicsDept.,DepartmentofElectronics,DepartmentofPhysics&Electronics,KITM
【出 处】
:
材料科学与工程:中英文B版
【发表日期】
:
2011年3期
【基金项目】
:
Authors gratefully acknowledge the support given by the Kurukshetra University for carrying out this work.
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