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为提高芯片封装的加工精度和效率，提出了一种由音圈电机驱动的二自由度高速精度定位平台，并基于音圈电机的性质和平台结构的动态分析，建立了平台控制系统数学模型．为降低高速频繁起停过程中定位系统产生的残余振动，以最小的超调量快速达到稳态响应允许波动范围的最小节拍响应控制策略来进行参数优化．通过进行系统理论仿真和实验验证，结果表明，所设计的控制系统，稳定时间小于20ms，运动加速度可达8g，定位精度小于2μm，重复定位精度为1μm左右，该控制系统动态品质优良，鲁棒性好．