论文部分内容阅读
本文制作了基于表面金属光栅的单模太赫兹量子级联激光器.通过优化光栅结构,获得了具有较强耦合效率和较低损耗的光栅结构参数.波导结构采用半绝缘等离子体波导以便能获得较高的光输出功率.激光器单模激射波长为95μm.10K时,器件最高单模输出功率达到了43mW,单模抑制比为18dB.单模器件工作温度超过70K,在70K时仍然有5mW的单模输出功率.这种输出性能良好的激光器可以作为太赫兹外差接收机的本振源。