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TiN镀层作为耐磨镀层，半导体工业中的扩散阻挡层，电子装置镀层，射频超导阱结构中的反次级电子倍增效应镀层，装饰和耐腐蚀保护镀层，已经在各个领域中得到广泛的应用。TiN镀层由于有很稳定的化学性能，以及和各种钢基材有较好的结合强度，特别适合用于材料的防腐蚀保护镀层。
阴极电弧离子沉积TiN／Ti镀层腐蚀特性
【摘 要】
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TiN镀层作为耐磨镀层，半导体工业中的扩散阻挡层，电子装置镀层，射频超导阱结构中的反次级电子倍增效应镀层，装饰和耐腐蚀保护镀层，已经在各个领域中得到广泛的应用。TiN镀层由于有
【出 处】
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中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
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2004年1期
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