α-Fe_2O_3气敏材料和器件制造及工艺研究

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本文用γ-Fe_2O_3和α-Fe_2O_3粉末混合物为原料,用更简单的注塑成型方法代替传统的压制成型工艺,用便宜的Ni电极代替传统的Au或Pt等贵重金属电极,制成α-Fe_2O_3气敏管芯。在不同的工作温度和氢气浓度下测量气敏特性△R/R_0~N(浓度)。 结果表明,虽然在低浓度范围,其灵敏度△R/R_0低于传统压制成型的α-Fe_2O_3器件,但由于所有特性曲线在N>1000ppm范围均呈线性关系,且其斜率显著大于传统α-Fe_2O_3器件,因此随着氢气浓度提高,二者的差距不断缩小,并在N>5000ppm范围,达到或超过传统α-Fe_2O_3器件水平。 In this paper, γ-Fe_2O_3 and α-Fe_2O_3 powder mixture as raw materials, a more simple injection molding method instead of the traditional compression molding process, with cheap Ni electrode instead of the traditional Au or Pt and other precious metal electrodes, made of α-Fe_2O_3 gas Sensitive dice. Measure the gas sensitivity △ R / R_0 ~ N (concentration) under different working temperature and hydrogen concentration. The results show that although the sensitivity △ R / R_0 is lower than that of the conventional α-Fe_2O_3 device in the low concentration range, all the characteristic curves show a linear relationship in the range of N> 1000ppm, and the slope is significantly larger than that of the traditional α-Fe_2O_3 Device, so as the hydrogen concentration increases, the gap between the two continues to shrink, and in the N> 5000ppm range, meet or exceed the level of the traditional α-Fe_2O_3 device.
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