边角效应对双辉离子渗金属加工的影响

来源 :原子与分子物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhang2jie
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在采用双辉光放电实施的离子渗金属加工中,存在强烈的边角效应。从等离子体性能入手,实验研究了这种边角效应,并分析了该种边角效应产生的原因,讨论了它对双辉光放电离子渗金属加工的影响。
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