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通过重新设计和改造镀膜室，增添新引线和引进进气系统，将蒸发镀膜装置改装成新型热丝CVD（化学气相沉积）系统。性能参数测试结果表明，改装后的装置完全达到化学气相沉积系统的要求，能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积，同时也完好地保留了原有真空镀膜的功能。
真空镀膜机攻装成热丝CVD系统
【摘 要】
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通过重新设计和改造镀膜室，增添新引线和引进进气系统，将蒸发镀膜装置改装成新型热丝CVD（化学气相沉积）系统。性能参数测试结果表明，改装后的装置完全达到化学气相沉积系统的要求，
【机 构】
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湘潭大学物理系
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2000年10期
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