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用X射线光电子能谱分析方法考察了聚酰亚胺薄膜样品在不同热解阶段的元素组成,相对含量,表面官能团类型所发生的变化,并用曲线拟合分技术对C1s谱进行了数学处理。结果表明,碳,氮和氧是该样品的基本元素;样品表面的碳大部分为类石黑碳,C-C和C-H是其主要的其团;氧元素主要与碳连接形成了C-O基和C=O基的两种含氧基团;表面的氮则是以C-N基的形式存在。