【摘 要】
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采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO（ZnO∶Cu）薄膜.利用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、紫外-可见分光光度计和光致荧光发光（PL）等表征技术,研究了不
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10874141）, 西北师范大学大学生科技创新基金资助课题
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采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO（ZnO∶Cu）薄膜.利用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、紫外-可见分光光度计和光致荧光发光（PL）等表征技术,研究了不同氧分压对ZnO∶Cu薄膜的微观结构和光学特性的影响.研究结果显示,随着氧分压的增加,薄膜的（002）衍射峰先增强后减弱,同时（100）（、101）和（110）衍射峰在（002）衍射峰增加时减小,表明氧分压可以影响ZnO∶Cu薄膜的结晶取向.薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过70%,同时随着氧分压的增加,薄膜的
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