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文章通过下文阐述了PECVD工作原理及设备的结构情况,按照多年的工作检验,对PECVD设备的常见故障进行了分析,并且制定了相应的解决对策.
PECVD的原理与故障解析
【摘 要】
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文章通过下文阐述了PECVD工作原理及设备的结构情况,按照多年的工作检验,对PECVD设备的常见故障进行了分析,并且制定了相应的解决对策.
【机 构】
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210000,南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 江苏 南京
【出 处】
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数字化用户
【发表日期】
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2017年12期
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