论文部分内容阅读
本文探讨将C60富勒烯材料作为有源矩阵液晶显示的开关元件。首先介绍了Lechner二极管有源矩阵液晶显示的原理。之后介绍了本文制作的C60二极管的工艺流程及其性能。将C60薄膜淀积在舢上，制成舢／C60结构的薄膜二极管。对Al／C60的肖特基结构与MIS结构的电学特性做了研究。Al／C60肖特基结构在偏压±2V时的整流比为30，而MIS结构在偏压±2V时整流比为100。在MIS结构中，AlOx的形成起着关键的作用。研究还发现，刚淀积好的薄膜二极管，其整流效应并不理想。在真空中经退火处理