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尽管现在一些人对转向450mm晶圆生产的呼声很急迫，但是通过提高设备和fab生产效率来延迟这个需求，仍有很多事情可以做。这是SEMI和大多设备供应商提供的信息。
生产力的新焦点：精益制造
【摘 要】
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尽管现在一些人对转向450mm晶圆生产的呼声很急迫，但是通过提高设备和fab生产效率来延迟这个需求，仍有很多事情可以做。这是SEMI和大多设备供应商提供的信息。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年11期
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