【摘 要】
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一般来讲,一座半导体工厂一年消耗的总电量大约为1亿kWh,其中43％是被空气调节设备的运转消耗掉了。这是由于洁净室的洁净度要求所致。尤其空气输送动力方面消耗电能最多。在
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一般来讲,一座半导体工厂一年消耗的总电量大约为1亿kWh,其中43％是被空气调节设备的运转消耗掉了。这是由于洁净室的洁净度要求所致。尤其空气输送动力方面消耗电能最多。在本公司全面垂直层流方式的洁净室内,以降低空气输送动力为目标,建造了模块式风机单元(FMU)方式的空调系统,将这一系统引入到最新的半导体制造工厂。引入的空调系统,属于FMU方式的送
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