等离子体诊断用18.2 nm Schwarzschild显微镜

• 作 者: 王新 穆宝忠 黄怡1 翟梓融 伊圣振 蒋励 朱京涛 王占山 刘红杰 曹磊峰 谷渝秋
• 机 构: 同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海200092上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室，上海200092中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900
• 出 处: 强激光与粒子束
• 发表日期: 2011年23期
• 关键词: Schwarzschild显微镜 激光等离子体 Mo/Si多层膜 空间分辨力 Schwarzschild microscope laser produced p

研制了用于超快激光等离子体诊断的Schwarzschild型正入射显微镜，该显微镜工作波长为182 nm，数值孔径为0.1，放大倍数为10。根据诊断要求设计了Schwarzschild物镜的光学结构，计算了物镜的光学传递函数，结果显示,设计的物镜在±1 mm视场范围内像方空间分辨力可达125 lp/mm。根据系统工作波长和光线在镜面的入射角度设计了Mo/Si周期多层膜反射镜，制作了Schwarzschild显微镜光学元件，镀制的膜系周期厚度为9.509 nm，周期数为30，对18.2 nm波长的反射率约31.1%。利用激光等离子体光源对24 lp/mm网格进行了成像实验，实验结果表明:系统在中心视场的分辨力为3 μm，600 μm内视场的分辨力为5 μm。