压电泵泵腔体积变化量研究

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分析了压电泵的工作原理,对工作中泵腔体积变化进行分析,利用有限元程序对压电振子的变形进行了计算,得出变形曲面近似于抛物曲面,并以此建立泵腔体积变化量的测试计算方法,同时进行了测试与计算研究。
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