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金属有机化合物气相色谱分析研究:I—二乙基锌的气相色谱分析
金属有机化合物气相色谱分析研究:I—二乙基锌的气相色谱分析
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq1094795388
【摘 要】
:
报道了用于MOCVD工艺制备半导材料的前体化合物二乙基锌的直接气相色谱分析方法。研究了二乙基锌及其中的挥发性有机杂质色谱分离特性.同时指出在严格实验条件下,二乙基锌能和一般有
【作 者】
:
阎圣刚
张琳
【机 构】
:
化工部光明化工研究所,大连理工大学
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
化合物
气相色谱仪
金属有机化学
【基金项目】
:
“863”715—01—01专题资助
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报道了用于MOCVD工艺制备半导材料的前体化合物二乙基锌的直接气相色谱分析方法。研究了二乙基锌及其中的挥发性有机杂质色谱分离特性.同时指出在严格实验条件下,二乙基锌能和一般有机物一样,从色谱柱上很好流出,并保证不分解。
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